發(fā)布者: 時(shí)間:2019-05-02
不銹鋼屏風(fēng)微細(xì)加工技術(shù)不僅是大規(guī)模和超大規(guī)模、特大規(guī)模、大規(guī)模集成電路的發(fā)展集成,也是半導(dǎo)體微波技術(shù)、聲表面波技術(shù)、光集成等許多先進(jìn)技術(shù)的發(fā)展基礎(chǔ)。在其他許多制造部門中,涉及加工尺度從微米至納米量級(jí)的精密、超精密加工技術(shù)也越來越多。對(duì)于這樣的精細(xì)加工尺度,可以將微電子工業(yè)中的“微細(xì)加工”一詞延伸過來,通稱微細(xì)加工技術(shù)。
微電子工業(yè)的發(fā)展在很大程度上取決于不銹鋼屏風(fēng)微細(xì)加工技術(shù)的發(fā)展。集成電路的制作、從晶片、掩模制備開始,經(jīng)歷多次氧化、光刻、腐蝕、外延、摻雜(離子注入或擴(kuò)散)等復(fù)雜工序,我們以后還包括劃片、引線焊接、封裝、檢測(cè)等一系列工序,最后得到成品。在這些繁雜的工序中,表面微細(xì)加工起了核心作用。對(duì)于微電子工業(yè)來說,所謂的微細(xì)加工是一種加工尺度從微細(xì)加工起了核心作用。對(duì)于微電子工業(yè)來說,所謂的微細(xì)加工是一種加工尺度從微米到納米量級(jí)的制造微小尺寸元器件或薄膜圖形的先進(jìn)制造技術(shù)。
不銹鋼屏風(fēng)的表面加工技術(shù),是表面微細(xì)加工技術(shù)是表面的一個(gè)重要組成部分?,F(xiàn)在高新技術(shù)不斷涌現(xiàn),大量先進(jìn)的不銹鋼屏風(fēng)產(chǎn)品對(duì)加工技術(shù)的要求越來越高,在精細(xì)化上已從微米級(jí)、亞微米級(jí)發(fā)展到納米級(jí),不銹鋼屏風(fēng)表面加工技術(shù)的重要性日益提高。
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